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硅烷質量流量計

產(chǎn)品時間:2024-08-07

簡要描述:

硅烷質量流量計
FC-DR980C-4V-SiH4
SiH4 就叫硅烷,硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現(xiàn)精細控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體

硅烷質量流量計

FC-DR980C-4V-SiH4

硅烷質量流量計性能:

數(shù)字和模擬兩用型控制

快速的響應

高精度

高度的可靠性和穩(wěn)定性

易于整合——標準連接器和尺寸

Aera創(chuàng)建于美國,是一家提供流體測量和控制產(chǎn)品及全套解決方案的跨國高科技企業(yè),擁有研發(fā)及運營團隊,掌握行業(yè)流體測量及控制技術,專注于高科技工業(yè)領域的廣泛應用,包括半導體、新能源、 新材料,平板顯示、數(shù)據(jù)存儲、工業(yè)鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產(chǎn)品包高性能的氣體質量流量控制儀器及測量儀器,Aera始終致力于為客戶開發(fā)優(yōu)化的解決方案及相關產(chǎn)品,客戶包括但不限于原始設備制造商(OEM)和終端用戶(END-USER)



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